二维材料CVD高温炉

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产品概述：

该设备是由滑动开启式真空管式炉、混气系统、真空及压力系统等组成，烧结温度可达到1200°，通过滑动炉体来实现快速升降温，可以通过配置不同的真空系统来达到理想的真空度，同时可以通过多路高精度质量流量计来控制不同的气体。

详细信息

　该设备是由滑动开启式真空管式炉，混气系统，真空及压力系统等组成。烧结温度可达到1200°，通过滑动炉体来实现快速升降温，可以通过配置不同的真空系统来达到理想的真空度，同时可以通过多路高精度质量流量计来控制不同的气体。

炉体结构	日本技术真空吸附成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛，保温性能好；炉子底部装有一队滑轨，移动平稳；炉子可以手动从一端滑向另一端，实现快速的加热和冷却；支撑两端安装油压缓冲器炉盖可开启，可以实时观察加热的物料。
电源	AC220V,50/60HZ 功率:4KW。
炉管	高纯石英管，高温下化学稳定性强，耐腐蚀，热膨胀系数极小；尺寸：φ 40/60/80/100*1200mm。
加热系统	加热区长度：440MM；恒温区长度：200mm；工作温度≤1150°；最高温度1200°；升温速率10°/min。
温控系统	温度控制采用人工智能调节技术具有 PID调节，自整定功能 30段升降温程序；测温元件：N型热电偶；恒温精度：±1°。
混气系统	多路质量流量计数字显示气体流量自动控制；内置不锈钢混气箱，每路气体管路均有逆止阀；每路气体进气管路均配有不锈钢针阀；通过控制面板上旋钮来控制气体流量；流量规格：0-1SLM；流量精度±1.5％。
真空系统	采用双极旋片式真空泵，真空度可达5×10-1torr；数显式真空压力表；可选高真空系统及真空计，压力控制系统等。
可选配件	混气系统中、高真空系统，各种刚玉、石英坩埚，石英管，计算机控制软件，氧含量分析仪等。